Vui lòng dùng định danh này để trích dẫn hoặc liên kết đến tài liệu này:
http://repository-old.ntt.edu.vn/jspui/handle/298300331/2219
Toàn bộ biểu ghi siêu dữ liệu
Trường DC | Giá trị | Ngôn ngữ |
---|---|---|
dc.contributor.author | D.T., Huong Giang | - |
dc.contributor.author | N.H., Duc | - |
dc.contributor.author | G., Agnus | - |
dc.contributor.author | T., Maroutain | - |
dc.contributor.author | P., Lecoeur | - |
dc.date.accessioned | 2019-01-22T06:36:47Z | - |
dc.date.available | 2019-01-22T06:36:47Z | - |
dc.date.issued | 2016 | - |
dc.identifier.issn | 2468-2179 | - |
dc.identifier.uri | http://repository-old.ntt.edu.vn/jspui/handle/298300331/2219 | - |
dc.description | 6 p. | vi_VN |
dc.description.abstract | String based MEMS devices recently attract world technology development thanks to their advantages over cantilever ones. Approaching to this direction, the paper reports on the micro-fabrication and characterization of free-standing doubly clamped piezoelectric beams based on heterostructures of Pd/ FeNi/Pd/PZT/LSMO/STO/Si. The displacement of strings is investigated in both static and dynamic mode. The static response exhibits a bending displacement as large as 1.2 mm, whereas the dynamic response shows a strong resonance with a high quality factor of around 35 depending on the resonant mode at atmospheric pressure. These findings are comparable with those observed in large dimension membrane and cantilever based MEMS devices, which exhibit high potentials in variety of sensor and resonant actuator applications. | vi_VN |
dc.language.iso | en_US | vi_VN |
dc.publisher | Vietnam National University, Hanoi | vi_VN |
dc.relation.ispartofseries | Journal of Science: Advanced Materials and Devices (2016);Vol. 1, P.214-219 | - |
dc.subject | Piezoelectric | vi_VN |
dc.subject | Clampedeclamped beam | vi_VN |
dc.subject | String based MEMS | vi_VN |
dc.subject | C-V characteristics | vi_VN |
dc.subject | Optical interferometer profiler | vi_VN |
dc.subject | Quality factor | vi_VN |
dc.title | Fabrication and characterization of PZT string based MEMS devices | vi_VN |
dc.type | Article | vi_VN |
Bộ sưu tập: | CÔNG NGHỆ HÓA VÀ THỰC PHẨM_J |
Các tập tin trong tài liệu này:
Tập tin | Mô tả | Kích thước | Định dạng | |
---|---|---|---|---|
FabricationAndCharacterizationOfPztStringBasedMemsDevices.pdf Giới hạn truy cập | 2.22 MB | Adobe PDF | Xem/Tải về Yêu cầu tài liệu |
Khi sử dụng các tài liệu trong Thư viện số phải tuân thủ Luật bản quyền.